学会任职:理事
工作单位:中山大学材料科学与工程学院
个人简介:奚斌, 中山大学材料科学与工程学院教授、博士生导师。本科毕业于南开大学,美国普渡大学博士,美国哈佛大学博士后、助理研究员。曾在半导体材料行业巨擎默克集团任高级科学家。
求学期间研究成果在Journal of the American Chemical Society,Angewandte Chemie International Edition等著名学术期刊上发表, 被 NewsRx等科技网站关注。并应邀为十二个国际期刊(均为美国化学学会和德国Wiley-VCH旗下权威期刊)审稿逾百次。
在工业界工作阶段,从事先进半导体集成电路中的原子层可控生长纳米级薄膜材料的 创新性研发工作。作为课题带头人与半导体领域著名的设备制造商和芯片制造商合作探索在先进半导体器件-集成电路前段FEOL和后段BEOL制程中具有实际应用的新型ALD/CVD薄膜材料,取得了多项创新成果。
2017年回国进入中山大学材料科学与工程学院工作。研究方向包括集成电路先进制程中有应用的原子层沉积ALD和原子层刻蚀ALE前驱体材料、工艺及机理等。开展的研究工作符合国家建设重大新材料产业体系和将集成电路上升为国家新兴战略产业的思路。